【IC搬运】半导体芯片wafer制造过程中的 Double Patterning 技术
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bilibili德斯萌耶夫斯基
【IC搬运】半导体芯片wafer制造过程中的 Double Patterning 技术
https://www.youtube.com/watch?v=d5uoklMx63I Introduction to Double Patterning which is used extensively for printing transistors and other features in front end of line (FEOL) flow in a semiconductor chip.
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